机械结构是支撑光刻机各个部件的骨架，要求具有极高的稳定性和精度。薛逸辰选用了一种高强度、低热膨胀系数的合金材料，这种材料在不同的温度环境下，尺寸变化极小，能够保证光刻机在长时间工作过程中的精度。机械部件的加工过程同样复杂，每一个螺丝、每一个导轨，都要经过精密的打磨和装配。在装配过程中，需要使用高精度的测量仪器，确保每一个部件的位置和角度都精确无误。
经过漫长而艰苦的努力，薛逸辰终于成功制造出了一台先进的光刻机。这台光刻机犹如一件精密的艺术品，散发着科技的光芒。然而，他并没有满足于此，因为他知道，还有更重要的纳米级机床等待着他去制造。
纳米级机床，是制造高精度零部件的关键设备，其精度要求达到纳米级别，这对于机械加工技术来说，是一个巨大的挑战。薛逸辰首先从机床的核心部件——主轴入手。主轴如同机床的心脏，其精度和稳定性直接影响到加工零件的质量。
他选用了一种新型的静压主轴，这种主轴通过在轴颈和轴承之间形成一层均匀的静压油膜，大大降低了摩擦和振动，提高了主轴的回转精度。静压主轴的制造工艺极为复杂，需要精确控制油膜的厚度和压力。薛逸辰在科技制作空间中，利用先进的3D打印技术，制造出了主轴的外壳和内部结构。3D打印技术能够根据设计模型，逐层堆积材料，制造出复杂的形状，而且精度极高。在制造过程中，他还加入了一些纳米级的添加剂，这些添加剂能够提高材料的强度和耐磨性，进一步提升主轴的性能。